真空扩散泵相关论文
随着微电子与光电子领域的芯片热流密度急剧增加及有效散热空间日益狭小等新特点和新现象的出现，具有高导热率、良好的等温性、热响......
电镜工作时要求循环冷却水同时工作，并且在关闭电镜后冷却水还要继续循环１０—２０ｍｉｎ，以便使高真空扩散泵充分冷却，防止硅油蒸发污染镜筒。传统......
使用油扩散泵获得超高真空，扩散泵油的蒸汽压、稳定性以及纯度是影响极限真空的主要因素。我们曾经对三种低蒸汽压硅油样品进行性能......
<正> 高分子材料应用于电子工业已有相当长的历史。随着材料工业的发展,特别是高效多功能材料的研究和发展,使电子工业面貌有了根......
