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真空氧等离子体相关论文
PDMS微流控芯片中真空氧等离子体键合方法
聚二甲基硅氧烷(PDMS)由于具有良好的力学性质和光学性质以及生物相容性等特点,是极具前景的μTAS应用材料[1].由于固化后的PDMS表......
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键合
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