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探讨采用真空波导及反常波模式（X模）微波输入技术，以避免微波石英窗口的污染，并研究了这种微波耦合模式装置中等离子体的放电特性．
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出示真空侧波导内部打火导致陶瓷窗破裂的一些证据,支持关于陶瓷窗破裂是由于真空波导内靠近陶瓷窗附近(或在其上)强射频击穿引起......
