真空等离子沉积相关硕士博士期刊学术论文

采用真空等离子沉积的类金刚石膜，它属于一种超薄性的薄膜。在诸多的测量方法中，本文采用了椭圆偏振光测量法来测量薄膜的厚度。该方......