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硅基籽晶相关论文
硅基籽晶上化学气相沉积金刚石薄膜及其场发射特性
通过控制电泳沉积(EPD)时间,在硅基片上沉积不同密度的金刚石籽晶.再用热丝化学气相沉积(HFCVD)设备,在硅基籽晶上合成多晶金刚石......
期刊
硅基籽晶
化学气相沉积
金刚石薄膜
场发射特性
电泳沉积
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