硅微机械法相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

硅微机械法相关论文

采用体硅制造法的光波导压力传感器的一种初步设计

随着波导材料的研究和进展,作者采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,该文章就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简......

期刊

光波导压力传感器硅微机械法结构原理制造工艺特性

硅微机械加工光波导压力传感器的设计

随着波导材料的研究和进展 ,采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器 ,就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述 ,......

期刊

光波导压力传感器硅微机械法结构原理特性

看过本文同时还关注