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硅微纳加工相关论文
硅微纳加工及其拉曼光谱表征
硅是极其重要的半导体材料,主要是因为其独特的电子和机械性能。伴随着科学的发展和技术的进步,集成电路的布线越来越细、密,这样一来......
学位
拉曼表征
第一性原理
硅微纳加工
半导体材料
塑性切削
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