硅悬臂梁相关论文
用光学探测方法研究了半导体硅悬臂梁的振动问题;运用基于外差干涉原理的实验装置得到了悬臂梁在激光激励下的振动响应(振动振幅和......
本文提出了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器,它的主要结构部分是通过半导体微细加工技术在硅片上得到的。文中介绍了这种......
利用原子力显微镜(AFM)硅悬臂器件具有多阶谐振模态的特性,提出了基于硅悬臂高阶谐振特性构建动态AFM来实现快速扫描的方法,并研制了......