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硅晶圆键合相关论文
基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容式超声传感器设计
针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归......
期刊
超声传感器
一体化全振薄膜
ANSYS
电容
硅晶圆键合
灵敏度
基于硅晶圆键合的MEMS电容超声传感器研究
超声成像在海洋地质地貌、军事海权控制、无损检测、医学诊断治疗、水产渔业生产等方面具有强烈的应用需求和巨大的经济效益,但目前......
学位
硅晶圆键合
电容
超声传感器
MEMS
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