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硅桥结构相关论文
基于MEMS技术MOSFETs硅桥结构磁传感器特性仿真与制作工艺
给出一种MOSFETs硅桥结构磁传感器,在方形硅膜上表面的不同位置设计4个p-MOS-FETs,沟道电阻构成惠斯通电桥结构,并在方形硅膜上表面中......
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