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硅溶片相关论文
能够防止“液体桥”粘连的新型硅溶片工艺
硅溶片工艺用于制造MEMS惯性传感器。能够实现高深宽比,导电性好的微机械性能。我所有杉这种工艺制造出多种MEMS器件。包括加速度计......
期刊
“液体桥”
硅溶片
MEMS
抗粘连
惯性传感器
MEMS
process
anti-sticking
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