硅的各向异性腐蚀相关论文
湿法腐蚀是微机械加工技术中的关键工艺之一,具有腐蚀速率快、选择性和均匀性好、设备简单、可批量生产等优点,因此在微结构的释放......
本文提出了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器,它的主要结构部分是通过半导体微细加工技术在硅片上得到的。文中介绍了这种......
介绍一种新颖的采用硅的各向异性化学腐蚀工艺形成压力传感器的技术.给出了各向异性腐蚀的机理,报告了三种不同腐蚀液(KOH,EPW,TMA......