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硅离子注入掺杂相关论文
硅离子注入对Ge2Sb2Te5结构和电阻的影响
采用磁控射频溅射法制备了Ge2Sb2Te5薄膜,利用离子注入法研究了硅掺杂对薄膜结构和电阻性能的影响.研究发现,由于硅的掺杂,Ge2Sb2T......
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Ge2Sb2Te5
硅离子注入掺杂
方块电阻
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