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CVD金刚石制备及金刚石金属氧化物场效应晶体管研究
金刚石具有禁带宽度大,载流子迁移率高,热导率极高等优异的电学性能,使其成为制备下一代高功率、高频、高温及低功率损耗电子器件......
学位
单晶金刚石
多晶金刚石
氢终端
硅终端
场效应晶体管
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