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该文对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件;硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究:建立了微传感器敏感结构的数学模......
该论文主要研究一种硅谐振梁式压力微传感器中热源对谐振频率的影响问题.采用的梁-膜式敏感结构为:方形硅膜片作为一次敏感元件,直......