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硬度和摩擦性能相关论文
制备工艺对磁控溅射Mo-N薄膜微结构和性能的影响
采用射频磁控溅射法,研究靶功率、氩氮比对Mo-N薄膜相结构、显微硬度和摩擦性能的影响。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、摩擦磨损测......
期刊
磁控溅射
Mo-N薄膜
相结构
硬度和摩擦性能
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