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硼化铪涂层相关论文
用纳米压入法测量硼化铪涂层的弹性模量
用Nano Indenter Ⅱ对硼化铪/石英和硼化铪/硅等膜/基结构进行纳米压入测量.通过对测得的载荷-位移曲线进行处理,得到硼化铪涂层的......
期刊
硼化铪涂层
弹性模量
纳米压入法
测量
基底
Nanoindentation
HfB2 coating
Elastic modulus
Substrate
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