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硼氧掺杂相关论文
硼氧离子共注入金刚石薄膜的微结构特性和电学性能研究
高质量低电阻率n型金刚石薄膜的制备是世界性难题,是制约金刚石在电子工业中应用的重要因素。本文采用硼氧离子共注入掺杂金刚石薄......
学位
n型金刚石薄膜
硼氧掺杂
离子共注入
微结构
电学性能
退火温度
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