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碱性浆料相关论文
用碱性纳米SiO2浆料对计算机硬盘NiP基板进行CMP超精密加工的研究
采用碱性纳米SiO2浆料对计算机硬盘NiP基板进行CMP超精密加工,与酸性浆料对比,在平整度PV、均匀度rms和粗糙度RA均获得显著提高。......
期刊
硬盘基板
CMP
碱性浆料
粗糙度
平整度
hard-disk Substrate
CMP
alkali slurry
roughness
planar
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