磁场直拉法相关论文
高集成度芯片发展使半导体行业对硅单晶材料提出尺寸与质量的要求。直拉法（Cz法）可生成大尺寸硅单晶，但生长中产生热对流，边界层不稳定......
在半导体硅生长工艺方面,除常规的直拉法(CZ)和区熔法(FZ)外,近年又出现了磁场直拉法(MCZ),中子嬗变掺杂法(NTD)和连续送液直拉法......
随着硅单晶直径的增大和对其质量要求的提高，磁场拉晶已经成为生长大直径硅单晶的有效手段。实践证明磁场拉晶能较好地控制晶体中的......
<正> 在硅单晶的各种生产手段中,直拉法是最主要的、最普遍采用的方法,它是由丘克劳斯基最早发明的,通常用CZ表示。目前世界上大约......
