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磁控反射溅射相关论文
制备ITO薄膜的磁控反应溅射镀膜设备的研制
提出了制备氧化铟锡薄膜(ITO)的磁控反射溅射镀膜设备的关键部件的设计原则。给出了该设备的调试结果。......
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ITO
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