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磁溅式三靶真空镀膜机相关论文

用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统

设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统,采用三菱PLC和EasyView触摸屏,具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能.文中介绍......

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