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N3^+,Ar^+注入铜靶所产生的溅射原子角...
在100keV入射能量下.分别测量了Ne~-、Ar~+在铜靶上所产生的溅射原子角分布与离子入射角度的关系 实验结果表明在40°和70......
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sputtering
the angular distributions of sputtened atoms
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