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离子方向角分布相关论文
ECR等离子体的计算机模拟研究
近年来,微波电子回旋共振(ECR)等离子体已成功地运用于表面处理、刻蚀和薄膜制备等微电子工业应用中,并用日益为世人所瞩目.该文采......
学位
ECR等离子体
混合模型
粒子模拟
自洽功率吸收
离子能量分布
离子方向角分布
离子速度分布
离子电流密度
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