离子束辅助沉积(IBAD)相关论文
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使用超高真空离子束辅助沉积系统（IBAD）制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表......
钇系高温超导涂层导体具备优异的超导性能，有广泛的应用前景，因此成为国际上的研究热点之一。近年来涂层导体长带的研制在日本和美国......
采用离子束辅助磁控溅射技术(IBMSD)制备了高硬度、低电阻率的类石墨碳膜(GLC),用TEM和XRD考察其组成相,用XPS、FTIR和电阻率间接......
介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的改进的宽束冷阴极离子源，详细叙述了该源的工作原理和放电过程，并对离子源的工作特性进行了......
用离子束辅助沉积(IBAD)方法在医用不锈钢317L基底上沉积TiN陶瓷薄膜.通过X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的微......
用不同能量离子束辅助沉积方法在医用不锈钢317L和Si(100)基底上沉积TiN薄膜.通过X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)和俄歇电......
介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的新型宽束冷阴极离子源，详细叙述了该源的结构和工作过程。采用五栅网离子能量测试装置研究......
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