离子束镀膜相关论文
离子束轰击化合物涂层镀膜是七十年代发展起来的一种新方法。本文叙述了用这种方法在硅片和玻璃片上形成钯膜的过程,并给出了用扫......
用强流脉冲离子束(HIPIB)方法通过高强度脉冲离子束照射到锡掺杂氧化铟(ITO)陶瓷靶材上产生的二次等离子体快速地沉积到室温玻璃基......