等离子体刻蚀技术与薄膜沉积、光刻等工艺结合,通过精细的图形转移在衬底材料上形成微电子器件的微观结构,是半导体制造业中不可或......

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半导体集成电路(Semiconductor Integrated Circuit)是微纳制造领域的制高点；随着其特征尺度(Feature Scale)的日益缩小,在工艺加工......