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离子能量控制相关论文
RF放电中对低损伤等离子体处理的离子能量的控制
一种控制离子能量的新技术建立在用一个辅助等离子体源把电子从外部注入到民容耦合的rf等离子体的基础上。外部注入的电子以代携带rf电......
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低损伤
等离子体处理
离子能量控制
射频放电
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