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空心阴极气流溅射法相关论文

空心阴极气流溅射法沉积Al掺杂ZnO膜的电学与光学性质(上)

对Al掺杂的ZnO膜(AZO),一般是通过空心阴极气流溅射法,采用Zn-Al合金靶,将它沉积在玻璃上.溅射功率通常固定在1500W,室温下,O2流量......

期刊

空心阴极气流溅射法 ZnO膜 Al掺杂电学性质光学性质

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对Al掺杂的ZnO膜（AZO），一般是通过空心阴极气流溅射法，采用zn．Al合金靶，将它沉积在玻璃上。溅射功率通常固定在1500W，室温下，O2流量为38—5......

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