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空气阻尼流场相关论文
横向振动微谐振器的空气阻尼研究及振动分析
横向振动微谐振器被广泛应用在MEMS器件中。由于在微结构中表面积与体积比值急剧增大,微动构件作谐振运动时引起的空气阻尼也大大增......
学位
空气阻尼流场
微尺度效应
横向振动
微谐振器
MEMS器件
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