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等离子体增强CVD技术相关论文
a—Si:H薄膜及MWECR—CVD制备技术
文章回顾了a-Si:H薄膜的发展历程,并介绍了其近10年的研究状况.为提高a-Si:H薄膜的沉积速度,还重点介绍了一种新的微波电子回旋共......
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