在直流等离子体射流ＣＶＤ装置上安装了磁铁装置，沉积出较大面积均匀金刚石膜（ｄ３０ｍｍ）。用ＸＲＤ，Ｒａｍａｎ，ＳＥＭ研究了金刚石膜的结构、组分和形貌，并用表面轮廓仪评估了......