类富勒烯薄膜相关论文
以甲烷(CH4)为前躯体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在单晶硅基底表面制备类富勒烯纳米结构类金刚石薄膜(FL-C∶H)。......
首先从碳基固体润滑薄膜的应用需求与成本效益出发,探讨了研究碳基固体润滑薄膜的迫切要求和重要意义,然后对类金刚石(DLC)薄膜、......
目的研究类富勒烯薄膜（FL-C：H）的载荷相关性摩擦滞后行为。方法采用直流等离子体化学气相沉积技术（DC-PECVD）在硅基底上制备了FL-C：H薄膜......
