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精密光学加工相关论文
全频段亚纳米精度氟化钙材料加工
考虑用CaF2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标,本文研究了CaF2材料加工工艺的全流程,以实现CaF2材料的全频段高精度加工......
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氟化钙
投影光刻物镜
精密光学加工
亚纳米精度加工
离子束修形(IBF)
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