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精密气浮工作台相关论文
精密气浮工作台动态特性仿真与优化
为提高精密气浮工作台的工作性能,在分析气浮轴承承载特性的基础上,对气浮工作台进行多体动力学建模与仿真。参数化多体动力学模型......
期刊
精密气浮工作台
动态特性
参数优化
精密气浮工作台多体动力学仿真与动态特性优化
光刻机是集成电路制造业中的关键设备,精密气浮工作台作为光刻机的关键子部件,其工作性能直接决定了光刻机的工作性能,因此对工作......
学位
精密气浮工作台
气浮轴承
多体动力学
动态特性
优化
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