精密X-Y工作台相关硕士博士期刊学术论文

精密Ｘ－Ｙ工作台是实现Ｘ、Ｙ坐标运动的典型关键部件。为了使该工作台具有精密度高、速度快、性能稳定和用途广泛等特点，本文借助于计算机技......