一种用于极紫外（EUV）光刻系统的高反射率反射镜已成为各国科学家研究的热点。虽然钼／硅（Mo／Si）或钼／铍（Mo／Be）多层膜堆层反射镜在１２nm波长处产......

紫外显微镜因为采用波长较短的紫外光作为照明光,所以其与传统光学显微镜相比具有更高的测量分辨率,从而被广泛应用于微纳几何尺寸......

世界第一台连续可变波长紫外显微镜在英格兰西北部的达斯伯里实验室研制成功。这是英国的科学与工程研究委员会与荷兰的科学研究......

针对目前紫外光学显微镜的测量值无法直接溯源至国际长度基准SI单位的问题,对中国计量科学研究院正在研制的紫外光学显微镜微纳线......

248nm波长照明的紫外显微镜能够获得高达80nm的光学分辨率，可以实现对掩模板的线宽和一维／二维栅格参数的测量。作为测量仪器的248nm......

计量型紫外光学显微镜采用248nm深紫外光源和高数值孔径物镜系统，工作距离和景深均很小，为实现清晰的成像，需要进行自动聚焦。因此研......