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紫外步进机相关论文
通过镜头进行圆片—中间掩模对准的远紫外步进机
本文介绍一种具有0.42数值孔径、21.2mm像场尺寸、5×缩小率全石英镜头的新型准分子激光步进机,并报告其设计特色和实验结果。......
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