金属薄膜在MEMS设备制造,航空航天,半导体加工等众多领域均有广泛的应用。在金属薄膜上制作微结构的方法很多,本文针对使用激光直......

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......