紫外缩小光刻相关硕士博士期刊学术论文

<正> 极紫外曝光(EUVL)从原理上说与紫外缩小光刻是一样的,其特点是代替折射透镜,使用了反射镜一面镀有软X射线范围具有较高反射率......