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硅片浅表层损伤缺陷的热演化行为及其表征
本文研究了硅片在多次热循环工艺前后的表层变化,确定了硅片精密机械加工后在浅表层遗留的残余损伤会在热工艺后演化成缺陷,验证了调......
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