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红外热堆正面腐蚀法相关论文
正面腐蚀方法制作新型微机械红外热堆探测器
阐述了微机械制造工艺制作红外热堆探测器的方法,其采用新的正面湿法腐蚀的方法释放体硅,获得悬梁结构的红外热堆探测器.该探测器......
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红外热堆正面腐蚀法
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