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采用纳米压痕仪,研究了不同曲率半径的金刚石压头在单晶硅表面的径向纳动运行行为和损伤特征。结果表明,相对于尖端名义曲率半径,......
采用纳米压痕仪研究了单晶铜和单晶硅径向纳动的运行特点和损伤过程．结果表明：径向纳动的残余压痕深度随循环次数增加急剧减小，而纳动......
“纳动”是指相对运动的位移幅值在纳米量级的特殊摩擦运动方式,其接触面积和载荷通常远低于传统微动,普遍存在于微机电系统中。由......
