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纳牛力致动器相关论文
基于微机电系统的纳米力学测量装置的研制
阐述了一种基于微机电系统的纳米力学测量方法和系统。开发了一种多功能的纳牛力致动器,可同时满足微拉伸测试系统、原子力显微镜等......
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