纳电子机械系统相关论文
论述了基于硅悬臂梁结构的纳电子机械系统技术.利用集成微电子批量制造技术,开发硅基的、具有纳米特征工作尺寸的纳米机械加工技术......
纳米蜂窝材料具有很高的比表面积，在微/纳电子机械系统、传感器、催化、自组装等领域具有广阔的应用前景。近来不断有实验表明......
纳电子机械系统(NEMS)是在微电子机械系统(MEMS)基础上发展起来的具有纳米技术特点的器件和系统。NEMS在谐振器、混频器、滤波器、......
纳电子机械系统（NEMS）器件具有高达GHz的谐振频率、105的品质因数、10-24牛顿的超高力灵敏度、10-17瓦的超低功率等特性，故NEMS纳米梁......
实验发现在纳机电系统中纳米结构的力学性能存在尺度效应。本文通过表面能理论研究了纳米结构的尺度效应,建立了单晶纳米纤维在拉......
回顾和概括了MEMS机电器件进入μm／nm尺度后解决的几个关键性问题。结合微机电器件发展的典型事例进行分析，对我国科学工作者在其中......
面向下一代超高密度信息存储技术，本论文致力于研究一种新型的一维纳机电探针器件，该器件采用微电阻加热写入和压阻敏感读取技术，并利......
微机电系统（MEMS）是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一......
