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纳米冷阴极材料相关论文
氧化物半导体纳料材料的制备及场发射和气敏性能研究
真空微电子器件因具有耐高温、响应快、功率大、适合大规模生产、集成化等优点,在军事和民用工业中发挥了重要的作用,其核心是场发射......
学位
氧化物半导体
场发射性能
气敏性能
纳米冷阴极材料
化学气相沉积
真空微电子
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