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纳米场效应相关论文
基于纳米场效应结构的微加速度计的研究
本论文开展对具有纳米场效应结构的半导体器件嵌入式微纳机械结构高灵敏传感研究。理论研究主要是微纳机械结构形变与半导体器件载......
学位
双平面掺杂
高电子迁移率晶体管
纳米场效应
灵敏度
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