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纳米氧化硅抛光液相关论文
纳米氧化硅在玻璃基片表面亚纳米级抛光中的应用
为满足先进电子产品对玻璃基片表面超光滑的要求,制备了一种纳米氧化硅抛光液,并研究了氧化硅粒子大小、抛光时间等参数对玻璃基片......
期刊
纳米氧化硅抛光液
玻璃基片
亚纳米级粗糙度
平面化
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