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目前，测量角位移的方法主要有光电自准直仪法和双频激光干涉仪法。这两种方法虽然都具有比较高的测量精度，但基本都局限于实验环境，对......
文中叙述了临界角度传感器的基本原理、性能特点,并给出了角度传感器的校正方法.结合该传感器在原子力显微镜中的实际应用所表现出......
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