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纳米片状金刚石相关论文
纳米片状金刚石膜的生长过程
采用微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD)在镀钛的单晶硅衬底上制备纳米金刚石薄膜。反应气体为CH4和H2,其流量比为1∶1,微波功率为1 ......
期刊
纳米片状金刚石
生长过程
微波等离子化学气相沉积
nanoflake-diamond growth process MPCVD
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